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EDXに関するブログ: EDXの分解能3
http://edxforvendetta.blogspot.com/2010/10/blog-post_4602.html
EDXについて,気になったことを書いてみよう!こんなブログあってもいいんじゃない!?って感じで作成しています. 間違い等がありましたら,コメント欄にご記入いただければ幸いです. EDXの分解能って,結局なんなのかって言うと,いかにしてシャープなピークを得ることができるか!って感じじゃないでしょうか.でも,多くの希土類元素を含むようなヘンテコな試料を除けば,カルシウム(Ca)より原子番号の大きいピークは,重なり合うこともないので,こういうこだわりは無視すればいいのですが,軽元素(ホウ素Bから窒素Nくらいまで)の定量分析に分解能の値が影響します.具体的には,以下のスペクトラムを見てください. たまに画像をお借りしてる4piさんは,129-132eV程度のエネルギー分解能を持つ検出器が開発されております.これらの値は,分析対象物が何であるかの場合に考えなくてはなりませんけど,あんまり気にしなくてもいいんじゃないでしょうか?wエネルギー分解能が良ければ,正しい定量分析ができるって訳ではありませんからね!
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EDXに関するブログ: EDXの定量分析1
http://edxforvendetta.blogspot.com/2010/10/blog-post_8331.html
EDXについて,気になったことを書いてみよう!こんなブログあってもいいんじゃない!?って感じで作成しています. 間違い等がありましたら,コメント欄にご記入いただければ幸いです. EDXでも他の装置でも,定量分析と言えば,未知試料(unknown sample)と標準試料(standard sample)の強度を測定して,その値を補正してから元素濃度を求めるのが一般的なやり方です. 12288;EDXによって取り込まれた特性X線の強度は,加速電圧や試料電流,検出器の取り出し角にとても依存しているので,これらの条件を同一にして未知試料と標準試料の特性X線強度を求める必要があります.また,若干ではありますが,炭素蒸着の厚さやユーザーの熟練度によっても分析値に影響が出てくるかもしれません. 12288;例えば,A元素について,未知試料の特性X線強度をI. この相対強度K(A)に補正係数G(A)をかけると,A元素の濃度C. もう少し詳しく書くとすれば,補正計数G(A)は. 215;G(補正計算法によって得られた値)×G(ユーザーの熟練度).
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EDXに関するブログ: EDX検出器
http://edxforvendetta.blogspot.com/2000/03/blog-post_03.html
EDXについて,気になったことを書いてみよう!こんなブログあってもいいんじゃない!?って感じで作成しています. 間違い等がありましたら,コメント欄にご記入いただければ幸いです. EDX検出器って,一般的には,Si(Li)検出器やシリコンドリフト検出器などの半導体検出器で構成されています.EDX検出器に飛び込んできたX線は,そのエネルギーに比例した数の電子ー正孔対を作るので,それを電流として取り出すことによって飛び込んできたX線のエネルギーを知ることができるっていうものなのです. Si(Li)検出器(Silicon detector, Solid State Detector: SSD)っていうのは,シリコン単結晶にリチウムをドリフトさせて作った半導体検出器です.ふつうは,リチウムの拡散の防止と電機ノイズを低減させるために液体窒素で常時冷却しておかなければなりません.
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EDXに関するブログ: 定量補正計算1:ZAF補正;原子番号補正(Z)
http://edxforvendetta.blogspot.com/2010/10/z.html
EDXについて,気になったことを書いてみよう!こんなブログあってもいいんじゃない!?って感じで作成しています. 間違い等がありましたら,コメント欄にご記入いただければ幸いです. 最近ふと思ったけど,こういう記事を書く場合の英数字って,半角がいいのかな?全角がいいのかな?ただそれだけですけどね,,,. 試料へ照射される入射原子は,構成原子の相互作用により,試料内部へ散乱していく侵入電子と試料表面より外部に放出される後方散乱電子(backscattered electron)に分かれます.この割合は,構成原子と入射電子のエネルギーによって変化します.平均原子番号(=ΣC. 12288; S=阻止能(stopping power factor). 12288; R=後方散乱因子(backscatter factor). 阻止能や後方散乱因子については,1960年代に数多く提案されました.その後にも,検討は続いております.たくさんの実験式がありますが,ここでは全てを網羅するのは大変なので,一部紹介してみます. 12288;S=(Z/A)×ln(1.116×E/J). 12288;Z=原子番号, A=原子量.
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EDXに関するブログ: 定量補正計算1:ZAF補正;概略
http://edxforvendetta.blogspot.com/2010/10/blog-post_9070.html
EDXについて,気になったことを書いてみよう!こんなブログあってもいいんじゃない!?って感じで作成しています. 間違い等がありましたら,コメント欄にご記入いただければ幸いです. どうもボクです. 定量補正計算について書いてみることにしました.これが結構ながくなるんだわ.何回かに分けて書く予定. 前にも書いたけど,定量分析で元素の濃度を求めるには,未知試料に含まれる元素の特性X線強度と,同一の元素を含み化学組成が既知の標準試料の特性X線強度を測定します.その強度比K. Relative intensity, K-ratio)は,次のようして表されます. 各補正について,おいらは,そんなに詳しくないけれど,簡単に説明するとすれば,.
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EDXに関するブログ: EDXの分解能
http://edxforvendetta.blogspot.com/2010/10/blog-post_1221.html
EDXについて,気になったことを書いてみよう!こんなブログあってもいいんじゃない!?って感じで作成しています. 間違い等がありましたら,コメント欄にご記入いただければ幸いです. EDXのエネルギー分解能って分析にかなり影響されるのですが,今回は,そのエネルギー分解能についてちょっと書いてみたいと思います. エネルギー分解能は,通常MnのKα線(5.895keV)の半値幅(full width at half maximum;fwhm)の値を用いています.以下に模式図を示します,. これって,単に半値幅と言うときが多いけれど,正確には半値全幅と呼びます.(ボクも今まで知らなかった・・・まぁ英語をちゃんと訳したらこうなるよねw). あ,今までなんにも書かなかったけど,EDXのスペクトラムのピークって大体ガウス分布≒正規分布と見なすことができます.ガウス分布の数式って. と書きます.で,これを展開すると,. 正規分布の半値幅は,標準偏差 σ の約2.35倍であることが判ります.
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EDXに関するブログ: 定量補正計算1:ZAF補正;吸収補正(A)
http://edxforvendetta.blogspot.com/2010/10/blog-post_7974.html
EDXについて,気になったことを書いてみよう!こんなブログあってもいいんじゃない!?って感じで作成しています. 間違い等がありましたら,コメント欄にご記入いただければ幸いです. 試料に侵入した電子は,原子による散乱を受けながらエネルギーを失っていきます.この散乱過程で電子殻の内殻をイオン化して特性X線を発生するのですが,特性X線の発生強度は深さ方向に分布を持った形と見なすことができます.そして,ある深さで発生したX線は,試料表面に放出されるまでに構成元素によって吸収を受けながら減衰していきます.この吸収量を補正するのが吸収補正(absorption correction)です.ちなみに,ZAF補正を回すときは,この吸収補正から計算を開始させます. 12288;X線の吸収量は,構成元素の質量吸収係数(μ/ρ)とX線検出器の取り出し角θで定義された変数χに依存します;. 12288;χ=(μ/ρ)×csc θ. 12288;f(χ)=(1 h)/( 1 χ/σ)×(1 h(1 χ/σ) ). 12288;σ=レナード定数(例えば,2.39×10.
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EDXに関するブログ: EDXの定量分析2
http://edxforvendetta.blogspot.com/2010/10/blog-post_7216.html
EDXについて,気になったことを書いてみよう!こんなブログあってもいいんじゃない!?って感じで作成しています. 間違い等がありましたら,コメント欄にご記入いただければ幸いです. EDXによる定量分析には,大きく分けて二通りあります.一つめは, 前の記事で書いた. 相対強度を求める方法です.もう一つは,実は標準試料を用いなくても定量分析が行えます.それをスタンダードレス法(standardless correction)と呼びます. 12288;また今度, 前の記事で書いた. 相対強度を求めてからの補正計算法なのですが,数多く提案されております.その中で有名なのが,. 12288;φ(ρz)補正. の3つです.また,あまり使われていないけど検量線法などもあります. どの補正法を使うにしても,重要なのはX線スペクトラムの波形処理を正確に行うことなのです.波形処理が不十分であれば,正しい定量分析は行えないと思っております.まぁでも,それについてはユーザーサイドで要求する分析精度の程度に依存しますけどね.
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EDXに関するブログ: EDXスペクトラム2
http://edxforvendetta.blogspot.com/2010/10/blog-post_10.html
EDXについて,気になったことを書いてみよう!こんなブログあってもいいんじゃない!?って感じで作成しています. 間違い等がありましたら,コメント欄にご記入いただければ幸いです. まず,EDXスペクトラムは,だいたいですが,分析対象微少領域の化学組成を反映しています.これまた,だいたいですが,各元素のピークは,化学組成に比例して,大きくなったり小さくなったりします.このようなピークのことを特性X線(characteristic X-ray)と呼ぶみたいです. 特性X線について説明しますと,,,. 原子が物理的に安定するのは,電子核に電子が満たされている状態であるときで,それを基底状態と呼びます.この基底状態にある原子に,電子を照射して内殻電子を放出させると,そこに空孔が生じて不安定な励起状態になります. 4 Be 0.109. 10 Ne 0.849. ちなみに,各元素のエネルギーは,波長分散法で用いる波長値と反比例の関係にあります. エネルギー E(eV)=12399/λ(波長:Å). 波長分散法については,気が向くまで書くつもりはありません;;.
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EDXに関するブログ: EDXの定量分析手順
http://edxforvendetta.blogspot.com/2010/10/blog-post_4605.html
EDXについて,気になったことを書いてみよう!こんなブログあってもいいんじゃない!?って感じで作成しています. 間違い等がありましたら,コメント欄にご記入いただければ幸いです. EDXの分析手順を簡単にフローチャートで書こうと思います.編集が面倒なんで,すべてテキストです;;. 補正計算(ZAF, Bence-albee, φ(ρz)). EDXを用いた定量分析では,定量したい元素のスタンダードファイルをあらかじめ作成・保存しておくひつようがあります.フツウは,定量したい元素って,だいたい決まっているから,それぞれの元素を含むような標準試料を用意しておけば良いと思います.また,X線発生の観点から言えば,標準試料と未知試料は似たような物質の方が良いと思います.例えば,未知試料が金属なら,標準試料も金属にするとか,,,,. 12288;あと,未知試料をはかっているときに,予想外の元素を認識する場合があります.そういう場合は困りますね,,,標準物質を取り扱っているメーカーなどに問い合わせるのが一番いいと思います.